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plasma即等离子,其清洗原理为:射频电源在一定的压力情况下,在真空腔体中产生高能量的无序等离子体,然后等离子体轰击在被清洗产品的表面,以达到清洗目的。等离子体是物质的一种存在状态,通常物质以固态、液态、气态三种状态...
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