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光刻机是芯片制造的核心设备之一。在加工芯片的过程中,光刻机通过一系列的光源能量、形状控制手段,将光束透射过画着线路图的掩模,经物镜补偿各种光学误差,将线路图成比例缩小后映射到硅片上,然后使用化学方法显影,得到刻在...
纳米(符号为nm)是长度单位,原称毫微米,就是十的负九次方米(10亿分之一米),即十的负六次方毫米(100万分之一毫米)。如同厘米、分米和米一样,是长度的度量单位。微米是长度单位,1微米相当于1米的一百万分之一。所以1纳米等于千分之...
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