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1、AIN是一种在热、电、光和机械等方面具有良好综合性能的材料，作为电子薄膜材料在微电子、电子元件、高频宽带通信以及功率半导体器件等领域有广泛应用。2、AIN陶瓷具有较高的热导率，其膨胀系数与Si材料更匹配，且介电常...
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